Inline sistemi
Inline sistemiInline sistemi

Inline sistemi

AURION ponuja večkomorne sisteme, prilagojene vašim zahtevam, z transportom substrata pod vakuumom. Na voljo so konfiguracije, ki vključujejo zaporne komore, komore za predobdelavo in sputterske komore. Usmeritev je lahko vertikalna ali horizontalna.
Podobni izdelki
1/8
Sputter sistemi (Sputtering)
Sputter sistemi (Sputtering)
DE-63500 Seligenstadt
Plazemski sistemi
Plazemski sistemi
Popolni sistemi za obdelavo in premaz površin z uporabo plazemskih procesov Aktivacija, čiščenje in jedkanje z atmosferičnim tlakom plazme, reaktivno...
DE-63500 Seligenstadt
COMPACT-MW
COMPACT-MW
Kompaktni sistemi, minimalni prostor - Visoke gostote plazme za kratke časovne procese - Optimizirana homogenost s pomočjo plazemskega niza z 2-dimenz...
DE-63500 Seligenstadt
Klastrski Sistemi
Klastrski Sistemi
AURION ponuja večkomorne sisteme, prilagojene vašim zahtevam, z obdelavo substratov pod vakuumom. Na voljo so konfiguracije, ki vključujejo nalagalne...
DE-63500 Seligenstadt
HF sistemi za pospeševalnike delcev (ACCELOS SERIJA)
HF sistemi za pospeševalnike delcev (ACCELOS SERIJA)
Manipulacija žarkov v pospeševalnikih delcev (npr. stiskanje snopov), popolnoma integrirani sistemi iz kavitet z, žarnico in HF ojačevalnikom. Žarnica...
DE-63500 Seligenstadt
PIKNOS 30 MW
PIKNOS 30 MW
Max. 4 regulatorji pretoka plina s pretokom do 500 sccm na regulator, napajanje: 3/N/PE AC 400/230V, volumen komore: 30 l, dimenzije (ŠxDxV): 1,0 x 0,...
DE-63500 Seligenstadt
KIVOS koncept: Plazemski sistemi
KIVOS koncept: Plazemski sistemi
KIVOS je zelo fleksibilen, modularen koncept za plazemske sisteme. Ti sistemi se lahko uporabljajo na najrazličnejših področjih, kot so na primer fin...
DE-63500 Seligenstadt
RIE-NAČELO: CYLOS 160/RIE
RIE-NAČELO: CYLOS 160/RIE
Vakuumski rezervoarji so na voljo iz aluminija ali nerjavečega jekla, vakuumske črpalke v korozivno-gasotesni izvedbi, vključno z ločevalnikom oljnih ...
DE-63500 Seligenstadt