Depozicija Tankih Filmov - IC6

PONOVLJENJE ODLIČNOSTI IC6, bogat s funkcijami, zagotavlja najboljšo možno natančnost merjenja Kontroler za nanos tankih filmov IC6 nudi izjemno vrednost s kombinacijo preizkušene zmogljivosti INFICON kontrolerjev za tanke filme in edinstvenih funkcij, vse zasnovane tako, da dosežete največ iz svojega procesa nanosa. IC6 uporablja naš sistem merjenja frekvence ModeLock za zagotavljanje stabilnega, visoko ločljivega merjenja hitrosti in debeline z vodilno ločljivostjo hitrosti v industriji 0,00433 Å/s vsakih 1/10 sekunde. Noben drug kontroler za kvarčne kristale nima zmogljivosti, kakovosti in funkcij IC6, kar vam omogoča, da ponavljate odličnost. 1 Å za 0 do 9.999 kÅ 10 Å za 10.00 do 99.99 kÅ 100 Å za 100.0 do 999.9 kÅ 1 kÅ za 1000 do 9999 kÅ 0.001 za 0 do 9.999 Å/s, če je nastavitev časa filtra hitrosti 10 sekund ali več 0.01 za 0 do 99.99 Å/s 0.1 za 100 do 999.9 Å/s 100 – 230 V (izmenični tok) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz (1) Orodja/gostota = 100/1, temeljna frekvenca = 6 MHz (2)... Ločljivost frekvence: ±0.0035 Hz @ 6 MHz Ločljivost/merjenje debeline in hitrosti (1): ±0.00433 Å Obseg merjenja frekvence: 6.0 do 4.5 MHz (fiksno) Natančnost debeline (2): 0.5% Interval merjenja: 0.10 s Povprečenje več meritev: 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0 in 30.0 sek. povprečenje dovoljeno Avtomatski Z: da Avtomatski ton: da So-nanos: da (do 6 virov) Programi materialov: 32 Procesne plasti (na proces): 200 Procesi: 50 (procesi se lahko povežejo) USB pomnilnik: da Zapisovanje podatkov: da Dvojni / CrystalTwo®: 4 / 8 (s CrystalTwo ® stikalom) Število virov (4): do 6 Napetosti za nadzor virov: 0 do +/-10 V, nastavljivo Ločljivost izhoda: 15 bitov čez celoten razpon (0 do 10V) Pozicije posod: 64 Vhodi: 14 standardnih, do 28 opcijskih; TTL/CMOS logika združljiva ali zaprtje na ozemljitev Izhodi: 8 standardnih, do 24 opcijskih programabilnih SPST relejev, ocenjenih na 30 V(dc) ali 30 V(ac) RMS ali 42 V peak Izhod za snemalnik (4): 0 do +10 V, nastavljivo Logične izjave: 100 popolnoma programabilnih; do 5 dejanj, 5 dogodkov na izjavo Standard: RS232 Opcijsko: Ethernet Ločljivost debeline: 1 Å za 0 do 9.999 kÅ 10 Å za 10.00 do 99.99 kÅ 100 Å za 100.0 do 999.9 kÅ 1 kÅ za 1000 do 9999 k Ločljivost hitrosti: 0.001 za 0 do 9.999 Å/s, če je nastavitev časa filtra hitrosti 10 sekund ali več 0.01 za 0 do 99.99 Å/ Napajanje: 100 – 230 V (izmenični tok) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz Delovna temperatura: 0 do 50 C (32 do 122 F) Dimenzije, brez nosilcev (v x š x d): 5.25" x 19" x 13" (133mm x 483mm x 330 mm) Teža: 23 lbs (10.5 kg)