Nosilci - Odklepanje
Wir entschichten Ihre mehrfach beschichteten Substrathalterungen ohne Verwendung von abrasiven Mitteln, wie z.B. Strahlsand.
Dieses optimierte Entschichtungsverfahren vereint folgende Vorteile:
Keine Rückstände auf der Oberfläche
keine Implementierung von Fremdstoffen in die Substratoberfläche
Kürzere Abpumpzeiten
weniger Arc's beim Ätz- und Beschichtungsprozess
weniger "nicht gedrehte" Teile
Kein „Kaputtstrahlen“ und Verziehen der Halterungen
Weniger Flitter und weniger Fehlstellen in der Beschichtung
günstiger als Sandstrahlen
mögliche Beschichtungen:
DLC, WC/C, AlCrN, TiAlN, ZrN