RF Senzorska Tehnologija

RF senzor s FabGuard zagotavlja analizo plazemskega procesa v realnem času za znatno zmanjšanje variabilnosti procesa Tehnologija RF senzorjev INFICON zagotavlja zelo natančna, širokopasovna, frekvenčno diskriminantna RF merjenja za orodja za obdelavo polprevodnikov. Ti RF podatki nudijo podrobne vpoglede v dejanske pogoje plazme tako pri razvoju procesov kot pri težavah v proizvodnem procesu, kar znatno zmanjšuje variabilnost procesa. Najnovejši v nizu naprednih senzorjev za nadzor procesov v situ, ta neinvazivni RF senzor za montažo na kabel v liniji se združuje s sistemom za integracijo in analizo senzorjev FabGuard, da ponudi kritične diagnostične informacije, npr. natančna merjenja moči in impedančnega razmerja komore ter procesov, analizo vzrokov napak (kot so težave z usklajevanjem omrežja), prstne odtise procesov za usklajevanje komor in modeliranje metrologije waferjev v PVD, CVD in etching aplikacijah. Tehnologija RF senzorjev INFICON s FabGuard ustvarja zelo natančne modele, ki napovedujejo metrologijo waferjev...