RIE-NAČELO: CYLOS 160/RIE
Vakuumrezipienten wahlweise aus Aluminium oder Edelstahl, Vakuumpumpen in korrosiv-gasfester Ausführung inkl. Ölnebelabscheider mit Ölrückführung, bis zu 4 Massendurchflußregler für die Gasversorgung
Angepasster Gaseinlaß für optimale Verteilung
Druckmessung je nach Anforderung mit kapazitiver Meßröhre oder Widerstandsmanometer (Pirani)
Einkopplung der HF-Leistung mittels von AURION selbst konzipierter und gebauter Impedanz-Anpassungsnetzwerke mit automatischem Tuning
Power-Split (bei mehreren Kathoden)
DC-Bias-Regelung für gleiches Bias-Potential auf mehreren Kathoden
Wahlweise halbautomatische oder PC-Steuerung inklusive Rezeptverwaltung und Datalogging