Izdelki za nacl (2)

Vakuumski rezervoarji so na voljo iz aluminija ali nerjavečega jekla, vakuumske črpalke v korozivno-gasotesni izvedbi, vključno z ločevalnikom oljnih meglic z vračanjem olja, do 4 regulatorji masnega pretoka za plinovod. Prilagojen vhod za plin za optimalno porazdelitev. Merjenje tlaka glede na zahteve s kapacitivno merilno cevjo ali upornim manometrom (Pirani). Vključitev HF moči s pomočjo AURION-ovih lastno zasnovanih in izdelanih impedančnih prilagoditvenih omrežij z avtomatskim nastavljanjem. Delitev moči (pri več katodah). DC-bias regulacija za enako bias potencial na več katodah. Na voljo polavtomatsko ali PC-nadzor, vključno z upravljanjem receptov in beleženjem podatkov.

Načelo merjenja temelji na volumetričnem širjenju plina v temperaturnem senzorju. Temperaturni senzor je s kapilarno cevjo trdno povezan z merilno vzmetjo. Širjenje plina, ki ga povzroča temperatura, zabeleži merilna vzmet in ga preko zobatega segmenta prenese na kazalno napravo. Področje uporabe S plinom napolnjenim termometrom lahko merimo temperature med 80°C in +800°C. Natančnost prikaza je ± 1% od končne vrednosti merilnega območja. Plinska napolnitev je toksiološko in ekološko popolnoma neškodljiva. Pri plinom napolnjenih daljinskih termometrih lahko med temperaturnim senzorjem in merilno vzmetjo dobavimo povezovalne cevi dolžine do 100m. Posebne izvedbe z do -200°C so možne.