Sistem za obdelavo površin s plazmo | Femto - Sistem z nizkim tlakom plazme, Sistem za obdelavo površin s plazmo, Plazemski čistač

Plazemski sistemi podjetja Diener electronic so se že dolgo uveljavili v različnih industrijskih panogah. Z nizkotlačno plazemsko napravo Femto se odločite za moderno in prihodnostno varno hladno plazemsko tehnologijo v vakuumu. Prostornina komore od 2 do 3 litrov tega plazemskega sistema nudi dovolj prostora za obdelavo laboratorijskih in manjših serij. Plazemska obdelava v nizkotlačnem plazmu je preizkušena tehnika za nadzorovano fino čiščenje, izboljšanje adhezije (aktivacija in jedkanje) ter nanos tankih plasti na površine substratov. Plazma se ustvari z uporabo visoko frekvenčnega napetosti v vakuumski komori. Pri tem se procesni plin, ki je vpeljan, ionizira. Območja uporabe: - VOC-prosta čiščenja organskih ostankov - Aktivacija pred barvanjem, lepljenjem, ulivanjem, … - Jedkanje PTFE, fotorezistov, oksidnih plasti, … - Super-hidrofobne in -hidrofilne prevleke Dimenzije (miza): 310 - 560 mm x 211 - 860 mm x 420 - 600 mm (ŠxVxD) Dimenzije (stojalo): 600 mm x 1700 mm x 800 mm (ŠxVxD) Material vakuumske komore: nerjaveče jeklo, aluminij, kvarčno steklo (UHP), borosilikatno steklo (HP) Dimenzije vakuumske komore: Ø 95/100 mm, T 280/278 mm, 103-110 mm x 103-120 mm x 285-300 mm (ŠxVxD) Prostornina vakuumske komore: Približno 2 - 3 litra Zapiranje vakuumske komore: pokrov, vrata s tečaji Dovod plina: igelni ventili ali kontrolerji masnega pretoka (MFC) Generator: 40 kHz; 100 kHz; 13,56 MHz; 2,45 GHz Merjenje tlaka: Pirani, kapacitivni manometer Elektrode: po želji stranke Nadzor: polavtomatski, vrtljivi stikalo, osnovni PC (Win. CE), polni PC (Win. 10 IoT) Napajanje: 230 V / 400 V / 50 - 60 Hz Vakuumska črpalka: sesalna moč min. 3 m³/h