Plazemski Sistem za Obdelavo Površin | Tetra 150

Nizkotlačna plazemska naprava, plazemska obdelovalna naprava, plazemski čistilec - plazemske naprave podjetja Diener electronic so se že uveljavile v različnih industrijskih panogah. Z nizkotlačno plazemsko napravo Tetra 150 se odločite za moderno in prihodnostno varno hladno plazemsko tehnologijo v vakuumu. Prostornina komore približno 150 litrov te plazemske naprave nudi dovolj prostora za serijsko proizvodnjo / avtomatizacijo. Plazemska obdelava v nizkotlačnem plazmu je preizkušena tehnika za nadzorovano fino čiščenje, izboljšanje adhezije (aktivacija in jedkanje) ter nanašanje tankih plasti na površine substratov. Plazma se ustvari z uporabo visoko frekvenčnega napetosti v vakuumski komori. Pri tem se procesni plin, ki je vpeljan, ionizira. Območja uporabe: - VOC-prosta čiščenja organskih ostankov - Aktivacija pred barvanjem, lepljenjem, vlivanjem, … - Jedkanje PTFE, fotorezistov, oksidnih plasti, … - Super-hidrofobne in -hidrofilne prevleke Dimenzije (stojna naprava - 19" omara): 600 mm x 2100 mm x 800 mm (ŠxVxD) Material vakuumske komore: nerjaveče jeklo, aluminij Dimenzije vakuumske komore: približno 400 - 600 mm x 400 - 600 mm x 625 mm (ŠxVxD) - Tmax 3 m Prostornina vakuumske komore: približno 150 litrov Zapiranje vakuumske komore: vrata s tečaji, avtomatska vrata Dovod plina: Mass Flow Controller (MFC) Generator: 80 kHz; 13,56 MHz; 2,45 GHz Merjenje tlaka: Pirani, kapacitivni manometer Elektrode: po želji stranke Nadzor: Basic PC (Win. CE), Full PC (Win. 10 IoT) Napajanje: 400 V / 50 - 60 Hz Vakuumska črpalka: po želji stranke