Visoko natančni vakuumski merilniki - 1000 ... 500 Torr / mbar

INFICON SKY CDG100D manometri so vaša najboljša izbira za natančno merjenje in nadzor skupnega tlaka. CDG100D merilniki so temperaturno nadzorovani pri 100 °C za vrhunsko delovanje v zahtevnih polprevodniških in plazemskih procesih. Na voljo so za polne merilne razpone od 100 mTorr do 1000 Torr, z vsemi običajnimi tipkami flanš in poljskimi vmesniki ter zagotavljajo linearni 0 do 10 V, neodvisen od vrste plina, tlak signal. INFICON kapacitivni manometri uporabljajo ultra čisto aluminijevo keramično membrano, ki je odporna na korozijo. Prednosti keramičnega senzorja so boljša stabilnost signala, hitrejše okrevanje iz atmosfere, kratek čas segrevanja in izjemna življenjska doba. INFICON CDG so visokokakovostni, stroškovno učinkoviti senzorji tlaka za zahtevne polprevodniške, plazemske in vakuumske aplikacije. z EtherCAT digitalnim vmesnikom zdaj na voljo! (1) Nelinearnost, histereza, ponovljivost pri 25 °C okoljski delovni temperaturi brez temperaturnih učinkov po 2 urah delovanja. (2)... Natančnost (1):0.2 na ničli:0.0025 na razponu:0.02 Maksimalni tlak:400 Ločljivost:0.003 Najnižja vrednost:0.01 Najnižja predlagana vrednost:0.05 Najnižji predlagani kontrolni tlak:0.5 Delovanje (okolje) (5):+10 … +50 Sušenje na flanši:≤110 Shranjevanje:–20 … +65 Napajalna napetost:+14 … +30 VDC ali ±15 V (±5%) Med segrevanjem:≤15 Pri delovni temperaturi:≤10 Izhodni signal (analogni):0 … +10 Čas odziva (2):30 Stopnja zaščite:IP 40 CE skladnost:EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS ETL certifikacija:UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 SEMI skladnost (5):SEMI S2 Električna povezava:D-sub, 15-pinski, moški Število točk nastavitve:2 (SP1,SP2) Relejski kontakt:≤30 Protokol:RS232-C Preberi:tlak, stanje, ID Nastavi:nastavitvene točke, filter, prilagoditev ničle, tovarna ponastavitev, DC offset Materiali, izpostavljeni vakuumu:Aluminijeva oksidna keramika (AI 2O 3), nerjaveče jeklo (AISI 316L (4)) I. volumen 1/2'' cev:4.2 (0.26) I. volumen DN 16 ISO KF:4.2 (0.26) I. volumen DN 16 CF-R:4.2 (0.26) I. volumen 8 VCR®:4.2 (0.26) Teža 1/2'' cev:837 Teža DN 16 ISO KF:852 Teža DN 16 CF-R:875 Teža 8 VCR®:897 Protokol EtherCAT:protokol specializiran za EtherCAT Komunikacijski standardi:Vakuumski merilnik tlaka