Prilagojena Entegries PAK kaseta za čiščenje waferjev FLOUROWARE

Nosilci waferjev se uporabljajo za shranjevanje, prenos, transport in zaščito waferjev - Obstaja veliko vrst nosilcev waferjev, vsak pa ima svojo aplikacijo. Na primer, prednja odprtina za prenos waferjev FOUP se lahko uporablja v polprevodniškem procesu v proizvodnem obratu, prednja odprtina za transport waferjev FOSB se lahko uporablja za transport med proizvodnimi obrati, in košara za cvetje waferjev se lahko uporablja za čiščenje waferjev itd. Fluororesin ima izjemno stabilno molekulsko strukturo, zato ga skoraj ne vplivajo svetloba, temperatura in kemikalije, in je "kralj smol", ki ruši inherentni koncept. V procesu čiščenja čipov so potrebne kemikalije visoke čistosti, fluoropolimeri pa so edini materiali, ki lahko vsebujejo in prenašajo kemikalije visoke čistosti, uporabljene v proizvodnem procesu, kar dosega izjemno visoko stabilnost in čistost, zahtevano za proizvodnjo polprevodnikov.