brezstični oprijem

...S sistemom LinearOverhead Transport je mogoče dvigniti in prevažati občutljive wafre brez stika od zgoraj. Ohranjanje razdalje s substratom omogoča brezstični transport. To preprečuje mikro praske in kontaminacijo. Poleg transporta se sistem LinearOverhead lahko uporablja tudi za inšpekcijo, razvrščanje in ločevanje substrata. Na voljo je v različnih različicah, na primer za brezstični...