transport wafrov

...S sistemom za transport LeviWafer gripper je mogoče občutljive waferje dvigovati in prenašati brez stika. V kombinaciji s transportom je mogoče tudi nalaganje in razkladanje kaset ali kupov. Gripper drži wafer na razdalji s pomočjo tehnologije ultrazvočnih ležajev, kar omogoča brezstični transport. Poleg mikro prask in razpok se preprečujejo tudi onesnaženja zaradi delcev, saj brez stisnjenega...